Шёлк и вода могут вытеснить токсичные соединения из производства микроэлектроники

Шёлк и вода могут вытеснить токсичные соединения из производства микроэлектроники

Инженеры из Университета Тафтса обучились создавать наноструктуры из шёлка при помощи экологически «мягкого» процесса, в котором роль проявителя играется вода, а все применяемые разработки достаточно стандартны. …И это может стать «зелёной» альтернативой токсичным материалам, применяемым сейчас в производстве тех же полупроводников.

В это же время мы вас осознаем, если вы спросите, к примеру, следующее: простая по разрешению электронно-лучевая литография, но с водой вместо веществ, каковые… не рекомендуется принимать вовнутрь? Как это быть может, в случае если до сих пор все попытки для того чтобы рода с треском проваливались из-за нехватки точности?

Неспециализированная схема применения шёлкового фоторезиста и воды как растворителя. (Тут и ниже иллюстрации Fiorenzo Omenetto et al.)

Разработчики во главе с Фьоренцо Оменетто (на данный момент Omenetto) поставили себе целью достигнуть разрешения ниже 100 нм. В большинстве случаев при создании наноструктур на кремниевые пластины наносят плёнки из полимеров (фоторезист), после этого закрываемые масками, а позже вся поверхность подвергается «обстрелу» светом либо электронами. Затем хороший резист растворяют посредством достаточно своеобразных и токсичных соединений, а вдруг используется негативный резист — то, наоборот, слой полимера остаётся на поверхности пластины.

В теории нет ничего, что мешает подобрать таковой резист, что может применять в качестве растворителя воду. А вот жизнь сложнее: такие резисты не дают той степени точности, которую требуют современные техпроцессы в радиоэлектронике.

В противовес этому новый вариант литографии применяет водный раствор шёлка, а в качестве плёнки фоторезиста идёт тот же шёлк — по сути, также полимер, лишь природный. Что принципиально важно, итоговое разрешение у таковой литографической технологии то же, что и у лучших современных синтетических фоторезистов. И это разрешает применять этот «зелёный» процесс чуть ли не на переднем крае микроэлектроники.

На вид продукция, полученная новым способом, не резко отличается от простой.

Что на выходе? Чистые помещения смогут стать ещё и «зелёными» не только в лабораториях, но и на фирмах, трудящихся в радиоэлектронный отрасли. Среди вторых преимуществ новой разработке вырисовываются возможности некоего понижения цены производства, не смотря на то, что степень последнего до тех пор пока только предстоит оценить.

Отчёт об изучении размещён в издании Nature Nanotechnology.
По данным Университета Тафтса.
Источник: compulenta.computerra.ru

Шёлк ( \


Темы которые будут Вам интересны:

Читайте также: